等離子(zǐ)清洗機也(yě)叫等離子(zǐ)清潔機，或者等離子(zǐ)表面處理(lǐ)儀，利用等離子(zǐ)體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法不能(néng)達到的效果。等離子(zǐ)體(tǐ)是物質的一(yī)種狀态，也(yě)叫做物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能(néng)量使之離化(huà)便成為(wèi)等離子(zǐ)狀态。等離子(zǐ)體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離子(zǐ)、電子(zǐ)、原子(zǐ)、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子(zǐ)等。等離子(zǐ)清潔機就(jiù)是通過利用這(zhè)些(xiē)活性組分(fēn)的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、塗覆等目的。
1.等離子(zǐ)清洗機真空泵熱過載保護，請檢查線路(lù)和真空泵故障
①如(rú)系統參數無變化(huà)，請确認熱繼電器(qì)是否自動保護，按複位鍵，然後啓動真空發生(shēng)系統。如(rú)沒有自動保護，請檢查電氣線路(lù)有無斷路(lù)或短路(lù)情況。
②出現(xiàn)此情況請先觀察系統參數設置有無變化(huà)，突然斷電會引起系統參數歸零，導緻設備出現(xiàn)此類報(bào)警。
③檢查導線是否有斷路(lù)或短路(lù)情況。
④如(rú)無上(shàng)述異常，請檢查真空泵。
2.等離子(zǐ)清洗機三相供電相序異常，請更換相序
①有相序保護繼電器(qì)，如(rú)出現(xiàn)此類報(bào)警，請更換相序。
3.一(yī)路(lù)供氣壓力過低(dī)，請檢查氣體(tǐ)是否開啓或氣體(tǐ)是否耗盡
4.二路(lù)供氣壓力過低(dī)，請檢查氣體(tǐ)是否開啓或氣體(tǐ)是否耗盡
3及4是氣路(lù)控制系統報(bào)警，出現(xiàn)此報(bào)警請先檢查氣體(tǐ)是否打開或耗盡。如(rú)氣體(tǐ)沒有問題，請檢查設備減壓表、氣路(lù)電磁閥及流量計是否正常工作(zuò)。檢查電氣線路(lù)是否出現(xiàn)斷路(lù)或短路(lù)。
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