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Harrick等離子(zǐ)清洗機的故障該如(rú)何有效排查?

更新(xīn)時(shí)間(jiān):2022-08-26      點擊次數:644
  Harrick等離子(zǐ)清洗機主要由電源、匹配器(qì)、腔體(tǐ)、電磁閥、流量計、外接氣體(tǐ)、真空泵和控制電路(lù)組成。當出現(xiàn)故障報(bào)警時(shí),首先要根據屏幕上(shàng)的報(bào)警提示檢查哪個(gè)部位有報(bào)警,從而确定故障的大緻部位,然後再檢查相關(guān)部位的各個(gè)執行器(qì)是否有異常。檢測控制電路(lù)故障直觀簡單的方法就(jiù)是用萬用表檢測是否有短路(lù)或開路(lù),電壓和電流是否正常。如(rú)果要在沒有萬用表的情況下(xià)排除故障,最快(kuài)的方法就(jiù)是更換它。首先根據屏幕提示确定故障位置,然後更換相同的元件。如(rú)果交流接觸器(qì)、熱過載、中間(jiān)繼電器(qì)、相序保護器(qì)、流量計等電器(qì)元件出現(xiàn)故障,問題将很快(kuài)得到解決。
 
  

Harrick等離子(zǐ)清洗機
 

 

  如(rú)果是燃氣欠壓報(bào)警,則需要确認相關(guān)進氣口是否有燃氣接入,燃氣壓力、調壓閥、流量計、電磁閥和模拟量接線是否都OK,相關(guān)是否屏幕參數的參數設置是否正确。當Harrick等離子(zǐ)清洗機真空度過高或過低(dī)時(shí),應首先考慮參數設置。當真空度太高且參數設置正常時(shí),需要查明腔體(tǐ)和管道是否洩漏,真空泵的抽真空壓力是否正常。将真空計與真空泵直接連接,測量真空泵的抽真空值是否能(néng)達标。
  
  如(rú)果真空泵的抽真空值正常,說(shuō)明真空泵是好(hǎo)(hǎo)的,将測量儀連接到抽真空管道上(shàng)進行測量。如(rú)果抽真空值遠(yuǎn)高于直接連接真空泵的抽氣值,則表明抽真空管道有洩漏。管道滲漏可能(néng)是管道接頭滲漏,也(yě)可能(néng)是管道滲漏。疏散管道雖然采用金(jīn)屬不鏽鋼制作(zuò),但(dàn)如(rú)果每次疏散時(shí)管道與周圍的某一(yī)部分(fēn)發生(shēng)震動和摩擦,随着時(shí)間(jiān)的推移,管道也(yě)會出現(xiàn)磨損。如(rú)果連接抽真空管道的測量儀測得的真空值與直接連接真空泵測得的真空值沒有明顯差異,則說(shuō)明抽真空管道也(yě)良好(hǎo)(hǎo)。接下(xià)來(lái),隻需在型腔密封處尋找漏氣部位即可。型腔可能(néng)洩漏的部位是密封條、玻璃窗、抽氣接頭和外聯部分(fēn)、空腔的電極和外聯部分(fēn),而空腔破裂和外聯部分(fēn),最容易發生(shēng)漏氣的部位是密封條和玻璃窗。
  
  Harrick等離子(zǐ)清洗機電源和匹配器(qì)故障在觸發故障時(shí)也(yě)會在屏幕報(bào)警窗口顯示相關(guān)提示信息,但(dàn)有時(shí)會因參數設置等原因觸發誤報(bào)警信息。這(zhè)個(gè)要根據情況來(lái)分(fēn)析。電源或匹配器(qì)出現(xiàn)故障時(shí),首先确認參數設置正确,然後檢查設置電源輸出的接線和電壓信号是否正确合理(lǐ),匹配器(qì)與電源的串口通訊是否正确供電正常,再進行人(rén)工調試。如(rú)果調試匹配器(qì)的參數,按下(xià)增/減按鈕時(shí)相關(guān)參數沒有明顯變化(huà),如(rú)果電源的功率輸出沒有變化(huà),則說(shuō)明電源有故障。
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