等離子(zǐ)清洗機(plasma cleaner)也(yě)叫等離子(zǐ)清潔機，或者等離子(zǐ)表面處理(lǐ)儀，是一(yī)種新(xīn)的*科技技術，利用等離子(zǐ)體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子(zǐ)體(tǐ)是物質的一(yī)種狀态，也(yě)叫做物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能(néng)量使之離化(huà)便成為(wèi)等離子(zǐ)狀态。等離子(zǐ)體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離子(zǐ)、電子(zǐ)、原子(zǐ)、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子(zǐ)等。等離子(zǐ)清潔機就(jiù)是通過利用這(zhè)些(xiē)活性組分(fēn)的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、塗覆等目的。
等離子(zǐ)清洗機的優點介紹：
一(yī)、清洗對象經等離子(zǐ)清洗之後是幹燥的，不需要再經幹燥處理(lǐ)即可送往下(xià)一(yī)道工序。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理(lǐ)效率；
二、等離子(zǐ)清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人(rén)體(tǐ)的傷害，同時(shí)也(yě)避免了(le)濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這(zhè)樣清洗後不會産生(shēng)有害污染物，因此這(zhè)種清洗方法屬于環保的綠(lǜ)色清洗方法。這(zhè)在全球高度關(guān)注環保的情況下(xià)越發顯出它的重要性；
四、采用無線電波範圍的高頻産生(shēng)的等離子(zǐ)體(tǐ)與激光等直射光線不同。等離子(zǐ)體(tǐ)的方向性不強，這(zhè)使得它可以深入到物體(tǐ)的微細孔眼和凹陷的内部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體(tǐ)的形狀。而且對這(zhè)些(xiē)難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好(hǎo)(hǎo)；
五、使用等離子(zǐ)清洗，可以使得清洗效率獲得大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分(fēn)鍾内即可完成，因此具有産率高的特點；
六、等離子(zǐ)清洗需要控制的真空度約為(wèi)100Pa，這(zhè)種清洗條件很容易達到。因此這(zhè)種裝置的設備成本不高，加上(shàng)清洗過程不需要使用價格較為(wèi)昂貴的有機溶劑，這(zhè)使得整體(tǐ)成本要低(dī)于傳統的濕法清洗工藝；
七、使用等離子(zǐ)清洗，避免了(le)對清洗液的運輸、存儲、排放(fàng)等處理(lǐ)措施，所以生(shēng)産場(chǎng)地很容易保持清潔衛生(shēng)；
八、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身(shēn)的表面性能(néng)。如(rú)提高表面的潤濕性能(néng)、改善膜的黏着力等，這(zhè)在許多應用中都是非常重要的；
九、等離子(zǐ)體(tǐ)清洗可以不分(fēn)處理(lǐ)對象，它可以處理(lǐ)各種各樣的材質，無論是金(jīn)屬、半導體(tǐ)、氧化(huà)物，還是高分(fēn)子(zǐ)材料（如(rú)聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子(zǐ)體(tǐ)來(lái)處理(lǐ)。因此特别适合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體(tǐ)、局部或複雜結構進行部分(fēn)清洗。
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