等離子(zǐ)清洗機(plasma cleaner)也(yě)叫等離子(zǐ)表面處理(lǐ)儀，是一(yī)種新(xīn)的技術，利用等離子(zǐ)體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子(zǐ)體(tǐ)是物質的一(yī)種狀态，也(yě)叫做物質的第四态。對氣體(tǐ)施加足夠的能(néng)量使之離化(huà)便成為(wèi)等離子(zǐ)狀态。等離子(zǐ)體(tǐ)的“活性”組分(fēn)包括：離子(zǐ)、電子(zǐ)、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子(zǐ)等。等離子(zǐ)清洗機就(jiù)是通過利用這(zhè)些(xiē)活性組分(fēn)的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現(xiàn)清潔等目的。
等離子(zǐ)清洗機中的等離子(zǐ)體(tǐ)是物質的一(yī)種存在狀态，通常物質以固态、液态、氣态三種狀态存在，但(dàn)在一(yī)些(xiē)特殊的情況下(xià)有第四種狀态存在，如(rú)地球大氣中電離層中的物質。等離子(zǐ)體(tǐ)狀态中存在下(xià)列物質：處于高速運動狀态的電子(zǐ)；處于激活狀态的中性原子(zǐ)、分(fēn)子(zǐ)、原子(zǐ)團（自由基）；離子(zǐ)化(huà)的原子(zǐ)、分(fēn)子(zǐ)；未反應的分(fēn)子(zǐ)、原子(zǐ)等，但(dàn)物質在總體(tǐ)上(shàng)仍保持電中性狀态。
等離子(zǐ)清洗機的清洗原理(lǐ)是在真空腔體(tǐ)裏，通過射頻電源在一(yī)定的壓力情況下(xià)起輝産生(shēng)高能(néng)量的無序的等離子(zǐ)體(tǐ)，通過等離子(zǐ)體(tǐ)轟擊被清洗産品表面，以達到清洗目的。
等離子(zǐ)清洗機清洗原理(lǐ)：
1.激活鍵能(néng)，交聯作(zuò)用
等離子(zǐ)體(tǐ)中的粒子(zǐ)能(néng)量在0~20eV，而聚合物中大部分(fēn)的鍵能(néng)在0~10eV，因此等離子(zǐ)體(tǐ)作(zuò)用到固體(tǐ)表面後，可以将固體(tǐ)表面的原有的化(huà)學鍵産生(shēng)斷裂，等離子(zǐ)體(tǐ)中的自由基與這(zhè)些(xiē)鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了(le)表面活性。
2.對材料表面的刻蝕作(zuò)用--物理(lǐ)作(zuò)用
等離子(zǐ)清洗機中的大量離子(zǐ)、激發态分(fēn)子(zǐ)、自由基等多種活性粒子(zǐ)，作(zuò)用到固體(tǐ)樣品表面，不但(dàn)清除了(le)表面原有的污染物和雜質，而且會産生(shēng)刻蝕作(zuò)用，将樣品表面變粗糙，形成許多微細坑窪，增大了(le)樣品的比表面。提高固體(tǐ)表面的潤濕性能(néng)。
3.形成新(xīn)的官能(néng)團--化(huà)學作(zuò)用
如(rú)果放(fàng)電氣體(tǐ)中引入反應性氣體(tǐ)，那麽在活化(huà)的材料表面會發生(shēng)複雜的化(huà)學反應，引入新(xīn)的官能(néng)團，如(rú)烴基、氨基、羧基等，這(zhè)些(xiē)官能(néng)團都是活性基團，能(néng)明顯提高材料表面活性。
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