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微納結構三維形貌測量儀

簡要描述：微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光幹涉掃描原理(lǐ)，以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識産權的高精度解析算(suàn)法，實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。

産品型号：
廠商(shāng)性質：生(shēng)産廠家
更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2021-03-16
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芯片表征設備

三維形貌儀膜厚測量儀

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品牌	FLOWX	産地類别	國産
應用領域	環保,電子(zǐ)

系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光幹涉掃描原理(lǐ)，以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識産權的高精度解析算(suàn)法，實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本産品具有以下(xià)特點：
高的測量精度：基于幹涉測量原理(lǐ)，測量重複性達到1nm。
大的測量範圍：采用*掃描系統，在保證納米定位精度的同時(shí)，單場(chǎng)掃描範圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿足曲面元件等大範圍物體(tǐ)測量需求。
全自動測量：标配自動檢焦功能(néng)，結合自動調焦裝置，無需複雜調節過程，一(yī)鍵操作(zuò)即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平台，可自動完成大面積三維數據拼接操作(zuò)
高集成度、安裝簡便：整機集成為(wèi)統一(yī)整體(tǐ)，僅需外接220v電源，通過USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統性能(néng)的同時(shí)，降低(dī)制造成本
靈活性高：可根據用戶需求，對系統進行改進，滿足工業不同應用場(chǎng)景需求。

微納結構三維形貌測量儀技術參數：

型号	3DNM-W50
光源	LED
CCD分(fēn)辨率	2040×1080
調焦方式	自動
縱向掃描範圍	4mm
縱向掃描速度	15μm/s
傾斜調整範圍	2°
縱向分(fēn)辨率	VSI：0.5nm，PSI：0.1nm
橫向分(fēn)辨率	650nm（20倍物鏡）
台階測量重複性	1nm
XY樣品台行程	100mm×100mm（手動）
Z軸行程	50mm（自動）
重量	50Kg
外形尺寸	550mm×380mm×680mm
數據傳輸接口	USB 3.0

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