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微納結構三維形貌測量儀

簡要描述:微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光幹涉掃描原理(lǐ),以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識産權的高精度解析算(suàn)法,實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。

  • 産品型号:
  • 廠商(shāng)性質:生(shēng)産廠家
  • 更新(xīn)時(shí)間(jiān):2021-03-16
  • 訪  問  量:1553

産品分(fēn)類

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詳細介紹

品牌FLOWX産地類别國産
應用領域環保,電子(zǐ)

 

系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光幹涉掃描原理(lǐ),以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識産權的高精度解析算(suàn)法,實現(xiàn)連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本産品具有以下(xià)特點:
高的測量精度:基于幹涉測量原理(lǐ),測量重複性達到1nm。
大的測量範圍:采用*掃描系統,在保證納米定位精度的同時(shí),單場(chǎng)掃描範圍可達到10mm,結合白光光源重構方法,可滿足曲面元件等大範圍物體(tǐ)測量需求。
全自動測量:标配自動檢焦功能(néng),結合自動調焦裝置,無需複雜調節過程,一(yī)鍵操作(zuò)即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平台,可自動完成大面積三維數據拼接操作(zuò)
高集成度、安裝簡便:整機集成為(wèi)統一(yī)整體(tǐ),僅需外接220v電源,通過USB3.0 數據傳輸,即可完成數據傳輸與測量
具有高的性價比:保證系統性能(néng)的同時(shí),降低(dī)制造成本
靈活性高:可根據用戶需求,對系統進行改進,滿足工業不同應用場(chǎng)景需求。

微納結構三維形貌測量儀技術參數:

型号

3DNM-W50

光源

LED

CCD分(fēn)辨率

2040×1080

調焦方式

自動

縱向掃描範圍

4mm

縱向掃描速度

15μm/s

傾斜調整範圍

縱向分(fēn)辨率

VSI:0.5nm,PSI:0.1nm

橫向分(fēn)辨率

650nm(20倍物鏡)

台階測量重複性

1nm

XY樣品台行程

100mm×100mm(手動)

Z軸行程

50mm(自動)

重量

50Kg

外形尺寸

550mm×380mm×680mm

數據傳輸接口

USB 3.0

 

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