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URE-2000/35型紫外光刻機

簡要描述：URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自動化(huà)控制。

産品型号：
廠商(shāng)性質：生(shēng)産廠家
更新(xīn)時(shí)間(jiān)：2021-07-08
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儀器(qì)種類	微流控芯片系統	應用領域	醫(yī)療衛生(shēng),環保,電子(zǐ)

産品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機

主要技術指标：

曝光面積：100mm×100mm

分(fēn)辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對準精度：±0.8μm

大膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為(wèi)15mm)；

照明均勻性：±4%（Ф100mm 範圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光刻機技術特點：

創新(xīn)采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現(xiàn)自動化(huà)控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續設定分(fēn)離間(jiān)隙；采用雙目雙視(shì)場(chǎng)顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能(néng)可靠、操作(zuò)方便、自動化(huà)程度高等特點。

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